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動量傳輸泵
它依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。這類泵可分為以下幾種形式:
1、分子真空泵 :它是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口後為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為:
1)牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量,被驅送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。
3)複合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種複合型的分子真空泵。
按其工作原理,基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。
一、氣體輸送泵包括:1、液環真空泵(水環式真空泵)2、往複式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、餘擺線真空泵7、幹式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、複合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射15、擴散泵等
氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。
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