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陝西真空設備按其工作原理及結構特點分述如下:
變容真空泵
它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往複式及旋轉式兩種。
1往複式真空泵 :利用泵腔內活塞往複運動,將氣體吸入、壓縮並排出。又稱為活塞式真空泵。
2、旋轉式真空泵 : 利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮並排出。它大致有如下幾種分類:
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵內各運動部件之間的間隙,減少泵內有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、餘擺線真空泵等。
2)液環真空泵 將帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時,把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環,液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變容吸排氣腔。工作液體通常為水或油,所以亦稱為水環式真空泵或油環式真空泵。
3)幹式真空泵 它是一種泵內不用油類(或液體)密封的變容真空泵。由於幹式真空泵泵腔內不需要工作液體,因此,適用於半導體行業、化學工業、製藥工業及食品行業等需要無油清潔真空環境的工藝場合。
4)羅茨真空泵泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。
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